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                  鍍膜時間設置: 1~4994 sec/ step
                  旋涂速度:0~ 1765 rpm
                  旋涂加速度:0 ~ 64956 rpm/s (空載)   
                  轉速穩定性:1 rpm
                  轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
                  鍍膜尺寸:φ10 ~ 297 mm                                1
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